GRAPHTEC（日本图技）GL 系列数据记录仪，是半导体 Fab、封测厂与可靠性实验室常用的多通道温度/电压采集设备。核心优势是通道间电气隔离、多信号混合采集、可离线独立运行，适配洁净车间强电磁、ESD 敏感的现场环境。

 典型应用场景

晶圆工艺测温：搭配 TC Wafer 测温片，做光刻、刻蚀、扩散炉、RTP 退火的炉温均匀性与工艺曲线 mapping。

洁净室环境监控：机台腔体、Chamber、洁净区温湿度、压差长期记录，支撑良率追溯与客户审厂。

器件可靠性测试：高低温箱、温循、HAST、HTOL、功率老化，同步记录结温、电压、电流、振动与时序失效。

设备状态监测：真空泵、冷机、射频电源、气体管路压力/流量记录，用于异常追溯与 PM 保养验证。

封测工艺：固晶、焊线、塑封、回流焊炉温曲线与器件热阻测试。