FS-Pro半导体参数测试系统产品简介

FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压 (IV)测试、电容电压 (CV) 测试、脉冲式 IV 测试、任意线性波形发生与测量、高速时域信号釆集以及低频噪声测试能力。几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在 FS-Pro 测试系统中完成。其全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦 9812 系列噪声测试系统无缝集成，其快速 DC 测试能力进一步提升了 9812 系列产品的噪声测试效率。

FS-Pro半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备。

• 在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速波形发生与釆集以及低频噪声测试能力，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。

• 全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦9812系列噪声测试系统无缝集成。

• 釆用工业通用的PXI模块化硬件架构，系统配置灵活，扩展性强。

• 内置专业测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能。

• LabExpress软件同时支持自动化量测和并行量测，可进一步提升测试效率。

• 广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型材料与器件测试、器件可靠性等研究领域。

• 产品应用

• 新型材料与器件测试

• 半导体器件可靠性测试

• 半导体器件超短脉冲测试

• 半导体器件无损探伤与测试

• 光电器件和微电子机械系统测试

• 半导体器件超低频噪声领域测试

主要规格参数：

• 宽量程：200V 电压，1A 直流电流
• 高精度：30fA 精度，0.1fA 灵敏度
• 噪声测试带宽：高精度zui高 100kHz，超低频zui高 40Hz
• 噪声测试速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 频率分辨率）
• 内置脉冲测试：200V 电压，3A 脉冲电流，最小 50μs 脉宽
• 内置 CV 测试：200V/10kHz，zui低可测至 20fF
• 外置 CV 测试模块：40V/2MHz（高精度型）；40V/10MHz（高带宽型）
• 高速时域信号采集：最小采样时间 < 1μs，10 万点数据
• 噪声测试最小阻抗：500Ω
• 噪声测试分辨能力：zui低 2e-28A²/Hz
• 噪声测试频率分辨率：高精度 0.1Hz，超低频 0.001Hz
• 高精度快速波形发生与测量套件
• 2 通道，SMA 接口
• 快速 IV 测试：±10V 电压，zui大 10mA 电流
• SMU 直通：±25V 电压输入，zui大 100mA 电流
• 100MSa/s 采样率，最小推荐脉冲宽度可达 130ns

  
  

软件功能

FS-Pro 系列内置 LabExpress 测量软件具有强大的测试和分

析功能，该软件提供友好的图形化用户使用界面和灵活的设

定，具有下列主要功能：

完整支持直流、脉冲、瞬态、电容、噪声测试、任意波形

发生与测量功能

支持长程 Stress 测试，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp，

J-Ramp）可靠性测试

内置的常见器件测试预设可大大提高测试设置效率，帮助

新手操作者快速完成测试

强大的自定义设定功能可以灵活编辑电信号

内置强大数据处理能力可测试后直接展幵器件特性分析多

种数据保存方式，导出数据可供用户后续分析研究也可直

接导入建模软件 BSIMProPlus 和 MeQLab 进行模型提取

和特性分析

LabExpress 专业版支持对主流探针台和矩阵幵关设 备的控

制，支持晶圆映射、并行测试实现自动测试功能，进—步

提升测试效率